Gebräuchliche Abkürzungen für Halbleiterfertigungsaktivitäten Filterlüftereinheit


Die Lüfterfilter-Einheit, oder FFU, wie wir sie oft nennen, ist ein selbstbetriebenes Filter- und Reinigungsgerät, hauptsächlich mit Ventilatoren und hocheffizienten Filtern, kombiniert mit dem Ende der Reinigungsanlage.

Ihr Hauptarbeitsprozess ist:
(1) Indem der Klimaprozessor die Luft (Frischluft) in den erforderlichen Zustandspunkt verarbeitet und an die statische Druckbox und das Rückluftgemisch geleitet wird, und dann nach dem Ventilator des Filters, der durch einen Hocheffizienzfilter (HEPA) oder Ultra-Hocheffizienz-Luftfilter (ULPA) unter Druck gesetzt wird, in den Reinraum gefiltert wird;
(2) die ursprüngliche alte Luft durch den erhöhten Boden oder die Seitenwand zurück zu den Trockenspulen, in den Trockenspulen in der kalten (heißen) Behandlung und dann zurück zur Druckbeaufschlagmaschine zurück in die statische Druckbox, wodurch der Prozess abgeschlossen wird.
(3) Nach der kalten (heißen) Behandlung in der Trockenspirale wird sie von der Rückdruckpresse zurück in die statische Druckbox geschickt, die den gesamten Luftfilterzyklus im Reinraum abschließt.

Ein solches System wird am häufigsten an Orten eingesetzt, in denen ultraleise Reinräume benötigt werden, wie zum Beispiel für die Herstellung großer integrierter Schaltkreiswafer, TFT-Displays, Festplatten und so weiter.

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Diesmal stellen wir die Terminologie vor, die in Halbleiteranwendungen verwendet wird:
CUP Zentralversorgungsanlage
GEX General EXhaust
SEX-SCHRUBBER-EXhaust
VEX Flüchtige orgaische Verbindung EXhaust
AEX Ammoniak EXhaust
PCW-Prozesskühlwasser
PV-Prozessvakuum
HV Hausstaubsauger
CW City Water
FMCS Fehlerüberwachungssystem
MCC Motor Control Center
VFD-Gerät mit variabler Frequenz
CCTV Close Circuit Televsion
PA Public Address System
FA Feueralarmsystem
UPW Ultra Pure Water
FWW Fluorid-Abwasser
Abwasser der IWW-Industrie
OWW Organisches Abwasser
DAHW Drainage von Amonienhydridabfällen
RCL Recycelt Wasser
RCM Rückgewinnwasser
HFW-Abwasser mit hohem Fluorid
BGW Backgriding Abwasser
SAW Schwefelsäure-Abwasser
PAW Phosphorsäure-Abwasser
SW Abwasser
TW Verdünner Abwasser
PIX Pix Abwasser PIX
LANGSAM Oxid-Schlammabwasser
SLWP Metallschlammabwasser
SLWP Poly Slurry Abwasser
PN2-Prozess N2
GN2 General N2
CDA-Kompressor Trockenluft
VMB-Ventilkrümmerbox
 
Klimaanlage        
AHU Luftbehandlungseinheit
MAU Make-up Air Unit
VAV Variable Air Volume-Box
FFU-Lüfterfiltereinheit
HEPA-Hocheffizienz-Partikelfilter
ULPA Ultra Low Penetration Filter
A/S Luftdusche
CUP Zentralversorgungsanlage
 
Energiesystem            
FMCS-Fehlerüberwachungssteuerungssystem
MCC Motor Control Center
VFD-Gerät mit variabler Frequenz
CCTV Close Circuit Televsion
SCADA Supervisory Control und Datenerfassung
MCC Motor Control Center
VFD-Gerät mit variabler Frequenz